1、虽然掺杂的区域和PN结形成电路中的有源元件,但是需要各种其它的半导体、绝缘介质和导电层完成器件/电路的电器性能,其中的一些是通过化学气相淀积CVD和物理气相淀积PVD的方式淀积在晶圆的表面;常规的淀积层有:掺杂的硅层(外延层)、金属间的绝缘介质层(IMD)、金属间的导电连线、金属导体层和最后的钝化层;半导体薄膜的参数:
■厚度/均匀性;(高纵横比模式)
■表面平整度/粗糙度;
■组成/核粒(grain)尺寸;
■自由应力;
■纯净度;
■完整性;
■电容;(金属传导层-高传导、低电阻低电容的低k介质;绝缘介质-高电容或高k值介质)
关于low-k值和high-k值可参看另一篇日志:什么是Low-K?什么是High-K?
2、化学气相淀积CVD基础:
a.淀积(deposition)指一种材料以物理的方式沉积在晶圆表面上的工艺过程,而生长膜是从晶圆表面的材料上生长形成的; 全文 »
《【扒一扒】日本高纯球形硅微粉材料生产商》: 作为一种无机非金属矿物功能性粉体材料,硅微粉广泛应用于电子材料、电工绝缘材料、胶黏剂、特种陶瓷、精密铸造、油漆涂料、油墨、硅橡胶等领域。 目前,世界上只有中国、日本、韩国、美国等少数国家具备硅微粉生产能力... 全文 ?